名称EE/span> 主动磁场消除
型号EE/span> Mag-NetX
品牌EE/span> TMC
概述
Mag-NetX设计用于任何带电束仪器E是一种E新皁E动控制系统,可补偿磁场波动。通迁E数字接口皁E拟控制器EMag-NetX具有更实时皁E振和连续监控功EE同时为用户提供亁E个简单的冁ELCD或E于PC皁E形用户界面EEUIE。通E续监控GUI显示皁E量字段E可在不依赖于显微镜图像的惁EE下进行微谁E另外,E动谁E使典型SEM应用皁E动变得更加简单、E/p>
亥姁E兹型E置釁E独立式笼E安裁E室冁E壁轨道上E直接安裁E外壳冁EE可根据您皁E求和应用配置Mag-NetX、E/p>
TMC可满足您皁E描和透封E微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面**苛刻皁E、E/p>
Mag-NetX皁E势
带数字接口皁E拟控制器 - 亥姁E兹型线圈的模拟控制可实现更**皁E时消振。数字面板为用户提供简单的LCD读数或基于PC皁E形用户界面EEUIE、E/p>
现场谁E皁EE活性 - 在启动时针对典型环墁E应用进行E动谁EEE针对更具挑E性皁EEE行可谁E现场谁E、E/p>
实时监控 - 通迁E算机GUI显示皁E量字段进行连续监控E甚***可在不依于显微镜图像惁EE下进行微谁EE/p>
特点
▪ 亥姁E兹线圈对具朁E*皁E称性和均匀性
▪ 连续现场消振和监控
▪ 有多种交流和直流消振模弁E/p>
▪ 100倍现场改进(E型值EE/p>
▪ 动态、E00 μs响庁E/p>
▪ **皁E场测量
▪ 具有连续系绁E监控和E析的图形用户界面
▪ 可的E路频率和谐波皁E馈补偿
▪ 可选的其他输E前馈功能
▪ 可选的自定义字段创建E同时抑制干扰
▪ 易于绁EE不锈钢笼E也可提供室冁E安裁E系绁E/p>
▪ 可提供任何尺寸皁E系绁E/p>
▪ 壁安裁E和外壳安裁EE置匁E阻燁E电缁E/p>
性能
见E
系绁E/strong> | |
系统绁E | 3轴正交磁传感器、Mag-NetX控制器、笼冁E姁E兹线圈对、外壳安裁EE壁安裁EE置 |
主动磁场消除轴 | X、Y、Z |
传感器类垁E/td> | 磁E门型,噪声 <10 pT/>基数EHz @ 1 Hz |
**环墁E流场E取决于传感器EE/td> |
±70 μT栁E 可提供高达±250 μT |
带宽E取决于笼和传感器EE/td> | 直流EE kHz典型值EE*高可达2 kHz |
动态范围E取决于笼和频率EE/td> |
典型值±10 μTEE*髁Eplusmn;100 μT 典型值40 dBEE*55 dB |
控制体积与磁场磁E寁E | 50 m3 @10 μT RMSE取决于笼参数EEbr /> 1 m3 @ 50 μT RMSE栁E控制器能够通迁E殊的笼结构消除地琁E场EEbr /> 10 m3 @ 50 μT RMSE用于通迁E殊的笼和外部放大器来消除更大体积皁E琁E场EE/td> |
传感器位置皁E减少率 使用36 x 36 x 52英寸/ 91 x 91 x 132厘米E长 x 宽 x 高)的典型笼EE/td> |
直流E00 Hz时皁E0 - 50 dBEE00x - 300xEE型值 100-500 Hz时皁E6 dBEE0xEE型值 |
典型电孁Ebr />
显微镜柱体积 12 x 12 x 24英寸/30 x 30 x 60厘米中皁E减少率 使用60 x 60 x 84英寸/ 152 x 152 x 213厘米E长 x 宽 x 高)的笼 |
X、YE直流E00 Hz时皁E0 dBEE2xEE型值 X、YEE00-500 Hz时皁E0 dBEE0xEE型值 ZE直流E00 Hz时皁E5 dBEE.2xEE型值 ZEE00-500 Hz时皁E0 dBEExEE型值 0 dB @ 1000 Hz |
控制器 | |
尺寸 | 17 x 9 x 1.75英寸/43 x 23 x 4.5厘米 |
操作模弁E/td> |
通电后!Ebr />
▪ 自动自检/校凁E并在1刁E冁EE换到控制模式。无需用户参与、Ebr />
▪ 手动测证E谁E模弁Ebr />
▪ 真正皁E流模式(补偿地琁E场EEbr />
▪ 偏置直流模式(忽略地琁E场EEbr />
▪ 跟踪显微镜运动零件引起皁E流漂移 ▪ 凁E流模式(忽略> 100秒波动EEbr /> ▪ 取消和创建E同时取消干扰和E建自定义字段EE/td> |
控制工具皁E垁E/td> |
▪ 数字控制增益皁E拟反馈,DC - 2 kHz ▪ 数字反馁Ebr /> ▪ 数字前馈(取消交流线路电源频率和谐波E而没有反馈的增益稳定性限制EE/td> |
状态LED持E灯 | 绿色=正常E黁E=警呁E错误 |
LCD 2x20符号显示 | 显示菜单和状态E/td> |
条形LED持E灯 | 显示XYZ补偿场皁E时强度 |
4个方向按钮 | 用于LCD菜单导航 |
USB插槽 E在PC上显示为COM端口EE/td> | 用亁E*谁E/测试的图形用户界面E接受ASCII命令和显示菜单 |
辁E模拟输E端E后DB-37EE/td> | 可以用作前馈E创建自定义字段 |
通行和不通行信号继电器 | 二进制E用作受保护系统的输E端 |
电源要汁E/td> | 90-240 VACEE0/60 HzEE*500 VA、E/td> |
亥姁E兹线圈笼配置
柱安裁E亥姁E兹线圁E/strong>
安裁E柱上的亥姁E兹线圈很容易适应SEM柱E佁E对TEM来说却不E实际、E/p>
地面安裁E亥姁E兹线圁E/strong>
地面安裁E亥姁E兹线圈可用于SEM和TEM、E/p>
腿架上的亥姁E兹线圁E/strong>
亥姁E兹线圈可以安裁ETMC腿架上、E/p>
亥姁E兹线圈壁裁EE置
壁安裁E线圈是安裁E房间中忁E近ETEM和SEM皁E和地面安裁E线圈的实用替代品、E/p>
1、特殊设计可安裁E被动屏蔽室冁E/p>
2、两件式防篡改PVC额定功玁E道裁E直接安裁E墙壁丁E皁E姁E兹型电缁E/p>
3、E有独立X-Y-Z引线皁E噪声DC-5 kHz磁E门传感器是栁E配置E还有多种传感器和传感器配置可供择
4EE用于所有壁安裁E室冁E统的阻燁E缁E/p>
5、用于门槛的铝盖E可在现场刁E和修剪到适当的尺寸
6、PVC铝地板E槛,可在需要时刁E大型房间
控制器和传感器
典型的传感器安裁E弁E/strong>
应用说昁E/strong>
Mag-NetX®
蔡司Auriga FIB-SEM在用带Mag-NetX®的SEM-Base®之前和之后皁E僁E/p>
Mag-NetX®
Bartington Instruments皁E力计用于消除场和E定义E建磁
应用照牁E/strong>
夁E号EEnbsp;